摘要： 采用直流电、单脉冲和双脉冲制备纳米晶钴 - 镍（Co-Ni）合金薄膜。用原子力显微镜（AFM）和表面轮廓仪分析了薄膜表面形貌与表面粗糙度，用 MV-2T显微硬度 计测试薄膜的硬度，用球盘式摩擦磨损试验机的评价了 Co-Ni 合金薄膜的摩擦磨损性能，最后用扫描电子显微镜分析了 Co-Ni 合金薄膜的摩擦磨损机理。研究发现，电沉积技术显著影响纳米 Co-Ni 薄膜的表面形貌、硬度和摩擦磨 损性能与机理。直流电制备的 Co-Ni 合金薄膜柱状晶较粗， 硬度较小，但其表面粗糙度较小；双脉冲制备的纳米 Co-Ni 合金薄膜柱状晶较细，硬度最高，且表面粗糙度最小，其磨损率比直流电沉积制备的 Co-Ni 合金薄膜降低近一个数量级。直流电制备 Co-Ni 合金的磨损机制为严重粘着磨损和磨粒磨损，而双脉冲制备的 Co-Ni 合金薄膜表现为轻微的疲劳磨损和磨粒磨损。